チョウビサイ カコウ ノ キソ : デンシ デバイス プロセス ギジュツ
超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術 / 麻蒔立男著
データ種別 | 図書 |
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版 | 第2版 |
出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 2001.9 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | x, 295p ; 21cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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549.8||A86 | 9060106948 |
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4526048127 |
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著者標目 | 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ> |
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分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
件 名 | BSH:半導体 |
書誌ID | BB00039656 |
ISBN | 4526048127 |
NCID | BA53699368 |