Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization / Marc J. Madou
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 2nd ed |
| 出版者 | Boca Raton, Fla. : CRC Press |
| 出版年 | c2002 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | 723 p., [16] p. of plates : ill. (some col.) ; 29 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 研究室 |
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549.9||Ma25 | 9200300827 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Madou, Marc J. |
| 件 名 | LCSH:Machining LCSH:Microelectronic packaging LCSH:Lasers -- Industrial applications 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | BB00028291 |
| ISBN | 0849308267 |
| NCID | BA57154278 |
