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ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15)

データ種別 図書
出版情報 東京 : 培風館 , 1995.12
本文言語 日本語
大きさ xi, 366p ; 22cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.7||O62 9060106048
4563036153
2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.7||O62 9200047557
4563036153
積層4層
549.7||O62 9060301785
4563036153

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別書名 異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術
一般注記 参考文献: 各章末
著者標目  大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ>
分 類 NDC8:549.7
NDC8:549.8
NDLC:ND371
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:半導体
書誌ID BB00001227
ISBN 4563036153
NCID BN13643698