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ジコ ソシキカ プロセス ギジュツ
自己組織化プロセス技術 / 村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 20)

データ種別 図書
出版情報 東京 : 培風館 , 1999.7
本文言語 日本語
大きさ x, 307p ; 22cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.8||J51 9060301810
456303620X
2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.8||J51 9200047581
456303620X
積層4層
549.8||J51 9060106813
456303620X

書誌詳細を非表示

一般注記 参考文献: 各章末
著者標目  村田, 好正(1935-) <ムラタ, ヨシタダ>
 尾関, 雅志 <オゼキ, マサシ>
 野崎, 眞次 <ノザキ, シンジ>
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDLC:ND371
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体
書誌ID BB00001225
ISBN 456303620X
NCID BA4214337X