スガワラ, カツロウ
菅原, 活郎(1942-)
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| 著者の属性 | 個人 |
|---|---|
| 一般注記 | 日本大学工学部情報工学科教授・理学博士 「研究者・研究課題総覧 自然科学編」による 「ULSI製造装置実用便覧」 (サイエンスフォーラム, 1991.11) JP92030977 SRC:次世代ULSI製造のための表面反応プロセス / 菅原活郎, 前田和夫編集委員(サイエンスフォーラム, 1994.6) |
| Dates of Birth and Death | 1942 |
| コード類 | 典拠ID=AU20095224 NCID=DA08326034 |
| 1 | 超LSIプロセシング / 菅原活郎, 福田宏共著 東京 : 培風館 , 1995.12 |