トクヤマ, タカシ
徳山, 巍(1929-)
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| 著者の属性 | 個人 |
|---|---|
| 一般注記 | 日立製作所中央研究所, 工学博士 筑波大学物理工学系教授(1987-1993) EDSRC:超微細加工技術 / 応用物理学会編 ; 徳山巍編著(オーム社 、1997.2) |
| Dates of Birth and Death | 1929- |
| コード類 | 典拠ID=AU20046959 NCID=DA00635330 |
| 1 | 半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著 東京 : 産業図書 , 1992.10 |
| 2 | 電子材料工学 / 電気学会通信教育会著 ; 青木昌治, 徳山巍執筆 東京 : 電気学会. - 東京 : オーム社 (発売) , 1982.3 |