ノノガキ, サブロウ
野々垣, 三郎
著者名典拠詳細を表示
| 著者の属性 | 個人 |
|---|---|
| 一般注記 | 日立製作所中央研究所主管研究長,工学博士 著書:マイクロリソグラフィー(丸善) |
| から見よ参照 | Nonogaki, Saburo |
| コード類 | 典拠ID=AU20030763 NCID=DA01285347 |
| 1 | 微細加工とレジスト / 野々垣三郎著 東京 : 共立出版 , 1987.11 |
| 2 | マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著 東京 : 丸善 , 1986.10 |