イチカワ, ユキミ
市川, 幸美
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| 著者の属性 | 個人 |
|---|---|
| 一般注記 | SRC:プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門 / 市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著 (内田老鶴圃, 2003.7) の奥付頁による 1980年, 工学博士 2000年, 富士電機(株)半導体基盤技術開発部 |
| コード類 | 典拠ID=AU20115961 NCID=DA14118494 |
| 1 | プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門 / 市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著 東京 : 内田老鶴圃 , 2003.7 |