ザイマ, シゲアキ
財満, 鎭明
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| 著者の属性 | 個人 |
|---|---|
| 一般注記 | 名古屋大学先端技術共同研究センター・教授 工学博士(半導体デバイス工学, 集積回路工学, 半導体物性) SRC:エピタキシャル成長の動的素過程の時間分解測定法の開発と反応種の表面泳動の研究 / 財満鎭明[ほか著]([出版者不明], 1994.3) EDSRC:極薄ゲート酸化膜の原子層制御形成技術の開発 / 財満鎭明 [著] ([出版者不明], 2000.3) EDSRC:反応性エピタキシャル成長によるCoSi2/Si(100)ヘテロ構造形成の研究 / 財満鎭明[ほか著] ([出版者不明], 2002.3) |
| Dates of Birth and Death | 1953- |
| コード類 | 典拠ID=AU20100364 NCID=DA08376134 |
| 1 | プロセスインテグレーション / 谷口研二, 鳥海明, 財満鎭明編著 ; 大場隆之, 河崎尚夫, 綱島祥隆著 東京 : 丸善 , 2010.9 |