イシハラ, タケシ
石原, 健

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著者の属性 個人
一般注記 ULSIプロセスの基礎技術, 1991: 執筆者一覧 (石原健; 松下電器産業)
コード類 典拠ID=AU20058221  NCID=DA05323051
1 ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著 東京 : 丸善 , 1991.3